251MX 型相差校正平场光谱仪采用球面基底的光栅和光栅波前非球面用于相差校正。此类高分辨率光谱仪工作在软X 射线波段。是极紫外波段理想的光谱仪。251MX 型非常容易获得良好光栅特性，也可到高质量的光栅。251MX型可用CCD相机直接探测高能量光谱、MCP 微通道板像增强器可以作为此套系统的光学闸门。

Model 251MX 光谱仪

焦平面宽度~25mm

入射角87 degrees (<3 degrees grazing)

探测位置连续可调,旋转

光栅接口2 position, 真空中可调

0阶挡板标准, 真空中可调

入射狭缝连续可调从10μm 到 3mm,真空中可调

波长范围由光栅决定

光栅选择（最多可同时安装两块光栅）

偏转角G/mm 分辨率

(nm)

焦平面宽度

(mm)

光谱范围

(nm)

光谱范围

(eV)

167 1200 ~ 0.028 25 5 to 20 248 to 62

172 2400 ~ 0.01 20 1 to 5 1240 to 248

• 相差校正光栅

• CCD直接探测

• 光谱数据快速收集

• 平面探测器（MCP、CCD）连接简便

• 真空度可达10e-6 torr

• 超高真空选项

• 任何角度可操作

• 多种探测器可选

McPherson 公司主要生产极紫外和软X 射线波段的光谱仪。平场XUV 光谱仪工作在这些波段范围。此类光谱仪主要用于开发研究高次谐波激光器（HHG）、用于极紫外印刷的激光激发等离子体源，和托卡马克的短寿命等离子体诊断等实验。光谱仪使用灵活性大，比如天体物理仪器标定就选用罗兰圆掠入射光谱仪Model 248/310G。对应不同特定的波段，可选光栅种类多，并可相应获得更高分辨率的光谱。